春秋属晋。
战国属赵。
秦属太原郡、上党郡。
东汉析置乐平郡，属并州。
三国时，归魏国并州统辖，分隶于太原、上党、西河、乐平4郡。
北魏为并州所属太原、乡郡、乐平、上党4郡和汾州所属西河郡地。
隋属并、介、韩、辽、吕5州，后属太原、介休、霍山3郡。
唐武德元年(618)改属并州总管府。
开元十一年(723)属太原府，南部属汾州，东部置辽州。
宋太平兴国四年(979)榆次县为并州治所，七年(982)移治唐明监(今太原)。
嘉祐四年(1059)属太原府。
金代分属河东北路的太原府、晋州、平定州、汾州和河东南路的辽州。
元代属冀宁路和晋宁路。
明洪武元年(1368)改属太原府，东部置辽州，南部属汾州、平阳府。
清代分属太原府、汾州府、辽州、霍州。
1914年属冀宁道。
1927年废道，直属山西省。
1937年分属第三、四、六行政区。
抗日战争爆发后八路军开赴山西创立敌后抗日根据地，分属晋察冀、晋冀鲁豫、晋绥边区政府。
1948年属华北区太行一专区、太岳一专区和晋中一、三专区。
1949年设榆次专区，辖14县区。
1951年撤销汾阳专区，原辖交城、文水、汾阳、孝义、清源、徐沟6县划归榆次专区。
次年又划入临县、离石、方山、中阳4县。
1958年更名晋中专区，辖7县2市。
1960年榆次、寿阳、文水、交城、盂县、左权、昔阳、中阳8县恢复原建制，共辖17县市。
1961年阳泉市划出，恢复孝义、灵石、祁县、平定4县，共辖20县。
1968年更名晋中地区。
1971年孝义、文水、交城、汾阳、离石、中阳、临县7县划归吕梁地区，析榆次县部分区域设榆次市(县级)，共辖14县市。
1983年撤销榆次县并入榆次市，平定、盂县2县划属阳泉市。
1992年介休县改市(县级)。
1999年设立晋中市（地级），所属榆次市改榆次区。