北宋太平兴国七年（982）建火山军。
治平四年（1067）置火山县，治今文笔镇东南35千米旧县。
熙宁四年（1071）废火山县。
金贞元元年（1153）置河曲县。
大定二十二年（1182）升火山军为火山州。
大定末年改火山州为隩州，隶河东北路。
兴定四年（1220）河曲县治徙今文笔镇附近。
蒙古至元二年（1265）废河曲县及隩州入保德州。
明洪武二年（1369）复置河曲县；六年（1375）废。
十三年（1382）再置，属太原府。
清雍正二年（1724）属保德州。
乾隆二十七年（1762），河曲县治徙今文笔镇。
1912年属雁门道。
1927年，直属山西省。
1949年，属兴县专区。
1952年，属忻县专区。
1958年，偏关县及保德县部分地域并入，属晋北专区。
1960年，偏关、保德2县析出。
1961年，属忻县专区。
1967年，属忻县地区。
1983年，属忻州地区。
2000年，属忻州市。